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機器製造販売事業 (機器事業部)

地球環境と技術革新の調和を求めて-。

空気・水・光・パーティクル・音・振動などの様々な媒体を通して、最先端技術分野で必要とされる高水準の制御技術を駆使し、温度、湿度、気流、風速、気圧、清浄度などの各カテゴリーの精密制御装置に技術を提供しています。

精密環境制御技術

精密温湿度制御(気体)

温度安定度 ±0.01℃以内
湿度安定度 ±0.3%RH

精密温度制御(液体)

温度安定度 ±0.01℃以内

クリーン化技術

0.1個以下/CFT
(0.1µm以下)

吹出風速/平面温度均一化技術

風速ムラ 10%以内
表面温度分布 ±0.2℃

気圧制御技術

絶対気圧安定度 ±0.1hPa
(1mmAq)以下

省エネルギー技術

消費電力50%以上削減

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