HOME 技術・製品情報 機器製造販売事業 (機器事業部) 高性能エア供給装置「ASCシリーズ」

高性能エア供給装置「ASCシリーズ」

高性能エア供給装置「ASCシリーズ」は、半導体・液晶製造装置及び各種産業分野への精密制御機器として開発された、高精度に温度コントロールしたエアを吹き出すユニットです。

特徴

  • 吹出風量5,10,15m3/minの3タイプを標準装備
  • 高精度化を実現
    温度制御 20~25℃±0.2℃
  • 地球環境維持の確保
    新冷媒ガスR407Cを使用
  • 各種オプション
    • 空気清浄(HEPA・ULPA/差圧計)
    • 風量調整ダンパー
    • 背面吸入ユニット
    • 断熱ダクト(送風・換気)
    • 用力位置変更
    • 英文対応(取扱説明書・表示部)

仕様

項目\型式 ASC05 ASC10 ASC15
(受注生産品)
寸法(mm) W 600 650 650
D 600 700 700
H 1,553 1,828 1,828
温度制御 設定20~25℃ ±0.2℃
標準風量(m3/min)※2 5 10 15
HEPA/ULPAフィルター(mm)※1 (510×510×50) (610×610×50) (610×610×50)
装置周囲環境※2 設定温度に対して±3℃以内
湿度30~70%RH以内
(クラス7)*3
冷凍機容量(W) 400 750 1,100
冷却水 水量(L/min) 7(50Hz) 13(50Hz) 20(50Hz)
8(60Hz) 16(60Hz) 24(60Hz)
接続配管 RC1/2×2(IN/OUT)
水温16~32℃ 差圧0.15MPa以上
ドレイン配管 RC1
電源 3φ200V15A
(50/60Hz)
3φ200V30A
(50/60Hz)
3φ200V40A
(50/60Hz)

※1.オプション
※2.能力線図をご参照ください。
※3.JIS B 9920規格(0.5μmクラス10,000相当)

外観図

ASCシリーズアプリケーション

カタログダウンロード

PDF (722KB)

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機器事業部

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