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気圧制御技術

周囲の気圧変動に関わらず、内部を常に一定の気圧に保つ技術は、干渉計やレーザーを利用したnmレベルの測定において、安定した測長精度の実現に貢献しています。

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絶対気圧制御チャンバ

絶対気圧制御チャンバ

現在、nmレベルの測定には干渉計やレーザー等の光を用いた方法が採用されていますが、光路中の空気密度変化(温度・湿度・気圧の変動)による光の屈折率の変動は、その測長精度に大きく影響を与えています。そこで朝日工業社では、周囲の気圧変動に関わらず、常に良好な検査精度を得ることを目的として、小規模な実験や研究・検査装置用に高精度な環境(気圧・温度・クリーン度)を低コスト・省スペースで提供する絶対気圧制御技術を開発しました。

<特徴>

  1. 低コストで精密な気圧制御設備を構築できます。
  2. 耐圧気密室と機械室の一体化による省スペース設計で、搬入時や設置後の移動が容易です。
  • 気圧制御精度 ±0.1hPa(1mmAq)以下。※1
  • 温度精度 ±0.05℃以下(設定23℃)※2
  • 気圧設定変更時における収束時間40秒以下。(設定気圧900~1100hPaにおいて)
  1. ※1 外乱として0.8hPa/5secの変動をパルス的に5分周期で与えた数値
  2. ※2 外乱として、5℃/30minを与えた数値

<性能評価>

性能評価

チャンバ評価試験室内の圧力を強制的に変動させることで、チャンバに対して周囲気圧変動の外乱を与えたデータです。外乱は仕様以上の約0.8hPa/5secの変動をパルス的に5分周期で与え、その時の制御精度は設定気圧1000hPaに対し、±0.1hPa(1mmAq)以下であり、設定可能範囲(900~1100hPa)全域においても同様の精度です。温度精度も同じく、仕様以上の外乱(5℃/30min)を与え、設定23.0℃に対し、±0.05℃以下になります。

■設定可能範囲における設定変更時の動特性
故意に設定温度を変化させたデータ
故意に設定気圧を変化させたデータ

温度での設定可能範囲18~25℃(7℃差)における収束時間は15分以下です。気圧での設定可能範囲900~1100hPa(200hPa差)における収束時間は40秒以下であり、オーバーシュートもほとんどありません。

お問い合わせ先

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機器事業部

住所 〒274-0053
千葉県船橋市豊富町616-8
電話番号 047(407)6101

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