HOME 技術・製品情報 機器製造販売事業 (機器事業部) クリーン化技術

クリーン化技術

ケミカルやパーティクルの超清浄空間を実現する朝日工業社のクリーン化技術は、半導体や液晶などの最先端技術分野に加えて、医療や製薬分野などのバイオクリーン、バイオセーフティーにも対応します。

カタログ製品

クリーンブース 美優風

クリーンブース 美優風

関連製品

FFUクリーンブース

FFUクリーンブース

SUS製の小型FFUの開発でクリーンブースが自由にレイアウトできます。必要な部分に必要なだけのFFUを装置することでランニングコストも低減できます。

<仕様>

  • 0.1µm-クラス10(ダウンフロー方式)
  • イオン交換繊維製の化学吸着フィルタ搭載
  • アンモニア濃度1ppb以下(外気40ppb)

ウエハ検査機(プローバー)用

ウエハ検査機(プローバー)用

内部への光の侵入だけでなく、人体に危険なレーザー光の漏洩防止を実現しています。

<仕様>

  • 0.3µm-クラス100(ダウンフロー方式)
  • 完全遮光仕様(直接光、反射光ともシャットアウト)
  • スライド式扉で完全遮光を実現

異物検査装置用クリーンベンチ

異物検査装置用クリーンベンチ

FFUを使用、省電力で低騒音、低振動も実現しています。

<仕様>

  • 0.1µm - クラス10(ダウンフロー方式)

お問い合わせ先

当社が製造・販売する製品についてのお問い合わせは、お問い合わせフォームをご利用いただくか、機器事業部までご連絡ください。

機器事業部

住所 〒274-0053
千葉県船橋市豊富町616-8
電話番号 047(407)6101

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