HOME 技術・製品情報 機器製造販売事業 (機器事業部) 精密温湿度制御技術(気体)

精密温湿度制御技術(気体)

半導体や液晶などの最先端製造・検査装置の性能は、温度や湿度など設置環境の空気質により大きく左右されます。朝日工業社の精密温湿度制御技術は、その空気質を極限まで制御し、装置の性能を最大限に発揮できる環境をつくります。

カタログ製品

高性能エア供給装置 ASCシリーズ

高性能エア供給装置 ASCシリーズ

高効率顕熱空調機

高効率顕熱空調機

納入実績

半導体露光装置用エンバイロメンタルチャンバ

半導体露光装置用エンバイロメンタルチャンバ

半導体生産の心臓部である露光環境を整える 精密環境チャンバです。最先端の露光装置にも 採用されています。

<仕様一例>

  • 吹出温度安定度 ±0.01℃以内
  • 吹出湿度安定度 ±0.5%RH以内

液晶露光装置用エンバイロメンタルチャンバ

液晶露光装置用エンバイロメンタルチャンバ

多様化、大型化する基板サイズに対応した大型環境チャンバです。高精細の液晶パネルにも対応しています。

<仕様一例>

  • 吹出温度安定度 ±0.05℃以内
  • 吹出温度分布 ±0.2℃以内(吹出面全面)

コーター/デベロッパー用高精度エア供給装置

コーター/デベロッパー用高精度エア供給装置

全量外気、非循環システムにも対応。純水超音波加湿器による高速応答技術を搭載しています。

<仕様>

  • 吹出温度安定度 ±0.05℃以内
  • 吹出湿度安定度 ±0.3%RH以内
  • ULPAフィルタ搭載可(オプション)

大型マスク基板描画装置用エンバイロメンタルチャンバ

大型マスク基板描画装置用エンバイロメンタルチャンバ

液晶基板用マスク製造装置向け自立型チャンバです。

<仕様>

  • 吹出温度安定度 ±0.1℃以内
  • 吹出温度分布 ±0.2℃以内(吹出面全面)
  • 吹出湿度安定度 ±5.0%RH以内
  • 完全遮光仕様(直接光,反射光 ともシャットアウト)

お問い合わせ先

当社が製造・販売する製品についてのお問い合わせは、お問い合わせフォームをご利用いただくか、機器事業部までご連絡ください。

機器事業部

住所 〒274-0053
千葉県船橋市豊富町616-8
電話番号 047(407)6101

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