HOME 技術・製品情報 機器製造販売事業 (機器事業部) 精密温度制御技術(液体)

精密温度制御技術(液体)

装置の温度上昇、熱膨張、熱変形を高精度に制御された液体で保護。フッ素系不活性液体や純水、超純水にも対応します。

納入実績

超純水対応恒温水供給装置

超純水対応恒温水供給装置

最先端の半導体露光技術に用いられる恒温水供給装置です。

<仕様>

  • 温度安定度 ±0.01℃以内
  • 超純水対応

電子顕微鏡筐筒冷却用恒温水供給装置

電子顕微鏡筐筒冷却用恒温水供給装置

電子顕微鏡は原子を直視するまでに進化しています。水流による振動が撮像に影響しないよう、脈動の抑え込みを図っています。

<仕様>

  • 温度安定度 ±0.1℃
  • 温度制御と同時に低脈動制御も実現
  • 空冷直接排気方式を採用

電子ビーム描画装置用恒温水供給装置

電子ビーム描画装置用恒温水供給装置

半導体の原板であるマスクを描画するEB露光装置用。装置内部の複数個所を異なる温度で高精度に制御しています。

<仕様>

  • 温度安定度 ±0.02℃以内
  • 冷凍機1台による多系統、多チャンネルの温度制御を実現

お問い合わせ先

当社が製造・販売する製品についてのお問い合わせは、お問い合わせフォームをご利用いただくか、機器事業部までご連絡ください。

機器事業部

住所 〒274-0053
千葉県船橋市豊富町616-8
電話番号 047(407)6101

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