朝日工業社LABO

論文詳細

研究論文 No.368

吹き出し風速と製造装置周辺の気流性状の関係性調査

発表先

ISPE日本本部年次大会

発表者

井上克哉

内容

各ガイドライン(EU-GMP、cGMPなど)で採用されている一方向流クリーンルームの風速規定は、0.45m/s±20%である。しかし、0.45m/sとすべき科学的根拠は明確ではなく、仮に風速を0.45m/sよりも下げることができれば、気流性状の改善(乱流・巻き上がりの減少)、ファン動力・HEPA交換回数の低減につながる事が期待される。そのためHEPAWGでは、一方向流における風速と障害物周辺の気流性状の関係を調査している。
調査内容として、クリーンブース内に製造装置の模型を設置した際の各風速(0.25,0.35,0.45,0.55 m/s)における気流性状を気流シミュレーション、気流可視化、三次元風速で評価した。さらに、各風速における粒子除去性能およびグローブ破損時の影響を評価したので、その調査内容を報告する。

発表年月:2022.5