研究論文 No.386
Ozone Generation Characteristics of Xenon Excimer Lamp
発表先
25th International Symposium on Plasma Chemistry
発表者
水野良典、村上栄造、清水一男(静岡大)、Abubakar Hamza Sadiq（静岡大）、Ahmad Guji Yahaya(静岡大)、Jaroslav Kristof（静岡大）
内容
本研究では、キセノンエキシマランプのオゾン生成特性を調べた。相対湿度0 %と相対湿度100 %におけるオゾン生成の消費原単位は、それぞれ14.9kWh/kg及び30.7 kWh/kgであった。酸素濃度21 % (窒素濃度79 %)と酸素濃度100 %におけるオゾン生成の消費原単位は、それぞれ14.6 kWh/kg及び11.0 kWh/kgであった。水蒸気とN2の存在により、キセノンエキシマランプによるオゾン生成効率が低下することを確認した。