研究論文　No.452

クリーンルームにおける回復特性試験について ～実測実験による考察～

発表先

ISPE日本本部年次大会

発表者

株式会社朝日工業社　井上克哉

内容

HVAC WGでは、製造環境における空調設備に関する課題（例えば、HEPAフィルタのリーク試験、風速分布の測定、気流性状の可視化など）に着目して活動している。本年はアイソレータ環境での風速測定(発表：エアレックス 山田氏)およびクリーンルームの回復特性試験（発表：朝日工業社 井上）について、実測実験に基づく考察を行ったのでその結果を報告する。
クリーンルームの回復特性試験では、クリーンルーム内の粒子個数濃度を高めて、回復特性を確認する必要がある。一方でグループの中でも、発生方法や測定場所、対象粒子の種類など、試験方法が異なっているという実情を確認した。そこで規格の整理を行った上で、規格に則った試験方法やグループ内で経験がある方法にて回復特性試験の実験を行い、各方法における傾向や注意事項について整理した。

発表年月：2025.5

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