研究論文　No.149

精密温調における省エネルギーシステム

発表先

NPOエコデザイン推進機構　記念講演

発表者

正田睦生

内容

露光装置などの精密微細加工機で要求されるｍＫレベルの精密温調において、従来の電気ヒータを廃止して冷凍サイクルのエネルギーのみで精密温度制御を実現したホットガスレヒートシステム（ASES）と、インバータ冷凍機の容量制御による精密湿度制御の省エネシステムについて報告。

発表年月：2010.3