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高効率顕熱空調機

「高効率顕熱空調機」は、精密な温度コントロールにおいて従来から必要とされてきた、過冷却→再熱のプロセスを不要とし、冷却のみでダイレクトに精密な温度コントロールを実現する新しいタイプの省エネ型空調機です。

空調システム

空調システム

特徴

  • ドレン排出無し
    顕熱のみの変化なので、コイルで結露水が発生しません。(ドレン配管不要)
  • コンパクト化を実現
    新たな空調システムと新型噴流ノズルの採用により、空調機のサイズ(設置平面積)を従来機から62%低減
  • 高いメンテナンス性
    ファンボックス・コイルボックス・冷凍機ユニット・制御盤など、ユニット単位での交換が可能。
  • 湿度制御対応(オプション)
    同一空調機寸法で湿度制御タイプも用意。
  • 高い省エネ効果
    新型クリスタルジェットでは45%の消費電力削減。(当社従来機比)

    【年間消費電力試算】(TCU1台、RFU1台のセットでの試算。)
    153,000kWh/年(当社従来機280,000kWh/年)
    10円/kWhと仮定すると、装置1セットあたり
    当社従来機比 年間約¥1,300,000削減されます。
  • 空冷化対応(オプション)
    コンデンサからの廃熱をクリーンルームのエアで処理。
    用力は電源のみ。冷却水不要。
高効率空調ユニット

仕様

温度収束時間 25秒 ガラス基板厚さ 0.7mm
※ガラス基板温度が25℃から23℃±0.2℃になるまでの時間。
※クリスタルジェットへ適用時
吹き出し温度分布 設定温度±0.1℃
吹き出し清浄度 ISO クラス3
対象基板サイズ 第5世代~第11世代
※クリスタルジェットへ適用時
電源電圧 3φ 200V ±10% 50/60Hz
有効電力 8.6kW(空調機1台あたり)
冷却水
(水冷の場合)
水温 18~25℃
水量 2~10Lit/min(空調機1台あたり)
排気
(室内コンデンサの場合)
排気温度 25~38℃
排気量 10~50m³/min(空調機1台あたり)
※強制排気する場合は間接排気として排気量は50m³/min
使用冷媒 R-407C
空調機サイズ 1,100W×1,600D×1,700H(mm)

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東京営業室【機器事業部営業部営業課】

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