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機器事業部

噴流式ガラス基板温調システム
「クリスタルジェット」

TCU(Temperature Control Unit)

高い信頼に基づく実績、全世界に400台以上!
ガラス基板の大型化に伴い必要不可欠となったガラス基板そのものの温度管理。朝日工業社が開発した“噴流式ガラス基板温調システム「クリスタルジェット」”は、液晶パネル生産を支えるキーデバイスとして広く世界中で採用されています。

特徴

  • ガラス基板温度収束時間25秒
    新型噴流ノズルの開発で、ガラス基板温度収束時間を10秒短縮。
    (当社従来機比)
  • 第11世代ガラス基板対応
    噴流ノズルプレートの枚数を使い分けることで、第5世代ガラス基板から第11世代の超大型ガラス基板まで対応可能。

温度収束グラフ

温度収束グラフ

RFU(Robot Filter Unit)

インターフェイスの高精度温度管理
ガラス基板の温度精度の向上には、基板搬送用インターフェイスロボットエリアの温度管理も非常に重要な要素です。
温調機能を備えた“ロボット部フィルタユニット「RFU」”は、高精度に温度制御された高清浄度のエアをロボットエリアに供給することで、噴流温調後のガラス基板温度の乱れを最小限に抑えます。

特徴

  • エリアのレイアウトに自在な対応
    お客さまの要求エリアに応じて、フィルターボックスを自在に配置して対応。
    ロボットエリア天井吹き出し方式に限らず、バッファカセットなどでのサイドフローにも対応可能。
  • 全面層流(オプション)
    ロボットエリア天井吹き出し面全面に特殊スクリーンを搭載することにより、全面層流のクリーン環境を実現。
  • 少風量での均一温調(オプション)
    ロボットエリア天井吹き出し面全面に噴流ノズルを搭載することにより、小風量でも風速を確保でき、熱負荷偏在時も温度均一化を実現。

少風量での均一温調

風量削減の図

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東京営業室【機器事業部営業部営業課】

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