製品

機器事業部

精密温湿度制御技術（気体）

半導体やFPDなどの最先端製造・検査装置の性能は、温度や湿度など設置環境の空気質により大きく左右されます。朝日工業社の精密温湿度制御技術は、その空気質を極限まで制御し、装置の性能を最大限に発揮できる環境をつくります。

カタログ製品

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納入実績

半導体露光装置用エンバイロメンタルチャンバ

半導体生産の心臓部である露光環境を整える精密環境チャンバです。最先端の露光装置にも採用されています。

＜仕様一例＞

• 吹出温度安定度 ±0.01℃以内
• 吹出湿度安定度 ±0.5％RH以内

　

液晶露光装置用エンバイロメンタルチャンバ

多様化、大型化する基板サイズに対応した大型環境チャンバです。高精細の液晶パネルにも対応しています。

＜仕様一例＞

• 吹出温度安定度 ±0.05℃以内
• 吹出温度分布 ±0.2℃以内（吹出面全面）

　

コーター/デベロッパー用高精度エア供給装置

全量外気、非循環システムにも対応。純水超音波加湿器による高速応答技術を搭載しています。

＜仕様＞

• 吹出温度安定度 ±0.05℃以内
• 吹出湿度安定度 ±0.3％RH以内
• ULPAフィルタ搭載可（オプション）

　

精密機器用高精度サーマルチャンバ

高精度に制御された自立型チャンバです。 要望に応じた恒温恒湿クリーンルームの設計～製作～据付

＜仕様一例＞

• 吹出温度精度 ±0.05℃
• 吹出湿度精度 ±1.0％RH

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