製品

機器事業部

精密温度制御技術（液体）

装置の温度上昇、熱膨張、熱変形を高精度に制御された液体で保護。フッ素系不活性液体や純水、超純水にも対応します。

納入実績

超純水対応恒温水供給装置

最先端の半導体露光技術に用いられる恒温水供給装置です。

＜仕様＞

• 温度安定度 ±0.01℃以内
• 超純水対応

電子ビーム描画装置用恒温水供給装置

半導体の原板であるマスクを描画するEB露光装置用。装置内部の複数個所を異なる温度で高精度に制御しています。

＜仕様＞

• 温度安定度 ±0.02℃以内
• 冷凍機1台による多系統、多チャンネルの温度制御を実現

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